Centre d'optique, photonique et laser,
Local
COP-00565B
Centre d'optique, photonique et laser
Organisme subventionnaire: Fondation canadienne pour l'innovation (FCI)
Appareil à la fine pointe de la technologie qui permet la déposition de multiples couches. Le système produit des couches diélectriques denses par la pulvérisation de cibles métalliques qui réagissent avec un faisceau d'ions d’un gaz tel que l'oxygène, l'argon ou l'azote. La programmation de procédés de déposition est totalement automatisée. La fonctionnalisation de surface avant dépôt est également permise.
Matériaux autorisés : Métaux et semi-conducteurs inorganiques (Si, Al, Nb, W, V, Ti et Ta), oxydes et nitrures métalliques.
Fournisseur:
Intlvac
Modèle:
NanoChrome II
Mise en service:
2008
