Université Laval
Faculté des sciences
et de génie

Système de déposition de couches minces par canon à électrons assisté par faisceau de plasma ionique

Centre d'optique, photonique et laser, Local COP-00565B
Centre d'optique, photonique et laser

Organisme subventionnaire: Fondation canadienne pour l'innovation (FCI)

Appareil à la fine pointe de la technologie qui permet la déposition de multiples couches minces optiques. Cet instrument est équipé d’un photomètre de mesure monochromatique in situ de l’épaisseur optique des films avec correction en direct de la mesure allant de 400 à 2200 nm. Matériaux autorisés: oxydes de silicium, oxydes métalliques, plus spécifiquement les combinaisons suivantes: Ti3O5, TiO2, SiO2, HfO2, Ta2O5, Al2O3, ZrO2, SnO2, ITO et MgO.

Fournisseur: Leybold Optics
Modèle: SyrusPro 710
Mise en service: 2007

Description

Fonctions spécifiques

  • Deux canons à électron : 5kW chacun
  • Source ionique : 15kW, 0,5 mA/cm2
  • Éléments chauffants : 300°C
  • Calotte rotative
  • Pompes : mécanique et turbomoléculaire
  • Moniteur optique OMS in situ

Valeur ajoutée

Cet appareillage de micro/nanofabrication de couches minces est disponible pour les membres du COPL et autres chercheurs. Le COPL possède une expertise réputée dans la fabrication et l’élaboration de dispositifs optiques que ce soit pour des oxydes bi- et trimétalliques ainsi que les nitrures.

Références technologiques

Pour en savoir davantage sur cette technologie, veuillez consulter le site de Bühler.

Coûts de location

Campus 100 $ / h
Hors campus académique 145 $ / h
Industries 275 $ / h

Légende : Le tarif horaire inclut le temps de l'opérateur.
 

Disponibilité

En semaine, sur réservation seulement.

Réserver cet équipement

Pour effectuer une réservation ou pour toute information concernant cet équipement, contactez:

Marc D'Auteuil
Coordonnateur des infrastructures
Marc.Dauteuil@copl.ulaval.ca
418 656-2131 poste 406164

Centre d'optique, photonique et laser
Pavillon optique-photonique
2375, rue de la Terrasse, local 0302-D
Québec (Québec)  G1V 0A6

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