Centre d'optique, photonique et laser,
Local
COP-00553
Centre d'optique, photonique et laser
Organisme subventionnaire: Fondation canadienne pour l'innovation (FCI)
Le microscope QUANTA-3D-FEG est un appareil multi-segments combinant les fonctions de microscopie électronique à balayage (SEM ou MEB), de gravure ionique (FIB) et de spectrométrie par dispersion d'énergie des rayons X (EDS). Les fonctions principales de cet appareillage sont d'observer, d’analyser et de graver la matière à l'échelle nanométrique. Le système d’imagerie MEB possède une résolution de l’ordre de la dizaine de nanomètres. Quant aux émetteurs et détecteurs de rayons X de type EDS, ils permettent l'analyse élémentaire de la composition sur les échantillons avec une résolution de quelques centaines de nanomètres. Comme option additionnelle, un module de déposition de platine permet de rendre un matériau non-conducteur initialement en matériau conducteur. Couplé à la source d’électrons pour l’observation, le module FIB peut graver la surface des matériaux ou les couches minces pour l’étude en profondeur de la stratification multicouches avec une très haute précision de l'ordre de quelques dizaines de nanomètres.
Fournisseur:
FEI
Modèle:
Quanta-3D-FEG
Mise en service:
2008
