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ESCA(XPS)-ASM-SIMS-ISS

Laboratoire d'analyse des surfaces, Local PLT-00545
Département de géologie et de génie géologique

Organisme subventionnaire: Conseil de recherches en sciences naturelles et en génie du Canada (CRSNG)

La technique de caractérisation avancée possède le module ESCA (XPS) ainsi que trois détecteurs, soit AES, ISS et SIMS. Les deux détecteurs AES et ISS sont également disponibles sur cet instrument de génération plus ancienne, mais avec des performances plus limitées. Une particularité supplémentaire est le détecteur additionnel de type SIMS qui est la spectrométrie de masse des ions secondaires (Secondary Ion Mass Spectrometry); un faisceau d'ions (primaires) frappe la surface à analyser et déloge des ions (secondaires) dont la masse (plus précisément le rapport masse/charge) est mesurée par un spectromètre de masse de type quadripolaire. Cette technique est très sensible et permet dans certains cas une détection de l'ordre du ppm.

Fournisseur: VG Scientific
Modèle: ESCALAB MKII, SIMSLAB, MICROLAB 500
Mise en service: 1984

Description

Fonctions spécifiques

  • Appareillage multisegment : échantillons solides : organiques, inorgatiques, composites
  • Appareillage multisegement : Analyse élémentaire : qualitative et quantitative
  • Appareillage multisegement : Détection limite : 0,01 % en concentration atomique relative, tout dépendant de l'élément
  • Appareillage multisegement : Analyse chimique : connaître le degré d'oxydation des éléments présents
  • Appareillage multisegment : Imagerie chimique en parallèle
  • Appareillage multisegment : Profil d'abondance en profondeur
  • Appareillage multisegment : Quantité nécessaire : varie selon la nature de l'échantillon
  • ESCA (XPS) - ESCALAB : Souce double : Magnésium et aluminium
  • ESCA (XPS) - ESCALAB : Analyseur : hémisphérique de grand rayon
  • ESCA (XPS) - ESCALAB - Détection monocanale
  • ESCA (XPS) - ESCALAB : Résolution : 0.88 eV sur argent
  • ESCA (XPS) - ESCALAB : Réacteur de haute température et de pressions intégrées
  • SIMS (SIMSLAB) : Deux sources primaires : source argon et source gallium à balayage
  • SIMS (SIMSLAB) : Quadripôle : grandes dimensions
  • SIMS (SIMSLAB) : Gamme en masse : 1-800 unités de masse atomique (uma)
  • SIMS (SIMSLAB) : Résolution en masse : 1 uma sur toute la gamme de masses
  • SIMS (SIMSLAB) : Résolution spatiale : 100 µm (Ar+) et 1 µm (Ga+)
  • SIMS (SIMSLAB) : l'hydrogène est détectable
  • ISS (VG scientific) : Résolution : 1 % avec He 1000eV sur une surface d'or
  • ASM (MICROLAB500) : Canon : type LEG 500
  • ASM (MICROLAB500) : Énergie : 0,5 - 30 keV
  • ASM (MICROLAB500) : Diamètre minimum du faisceau : 1 µm
  • ASM (MICROLAB500) : Résolution en profondeur : 5nm
  • ASM (MICROLAB500) : Résolution latérale : de l'ordre du 1µm
  • ASM (MICROLAB500) : Domaine de température : -100 à 600°C en position d'analyse
  • ASM (MICROLAB500) : Chambre de préparation et de déposition : par pulvérisation ou évaporation

Champs d'expertise

  • Science des matériaux
  • Caractérisation de surface
  • Nanoscience et nanotechnologie
  • Matériaux
  • Imagerie 2D de base avec source Ga
  • Expertise en SIMS sur les matériaux isolants électriquement

Valeur ajoutée

Quatre techniques disponibles dans la même installation : un échantillon peut être préparé, fabriqué et analysé par les quatre techniques sans revoir l’atmosphère, et ce, sans contamination.

Références technologiques

Pour en savoir davantage sur cette technologie, vous pouvez consulter les sites suivants :

Coûts de location

  Membre du C3V et de la FSG Membres académiques autres Facultés et Centre de recherche
Campus 20 $ / h 30 $ / h
Hors campus académique   50 $ / h
Industries   350 $ / h

Disponibilité

En tout temps.

Réserver cet équipement

Pour effectuer une réservation ou pour toute information concernant cet équipement, contactez:

Guillaume Barré, Ph.D.
Responsable de travaux pratiques et de recherche
guillaume.barre.2@ulaval.ca
418 656-5083

Plateforme recherche fac. microscopie électronique-ana. surface
Pavillon Alexandre-Vachon, local 00712
1045, avenue de la Médecine
Québec (Québec)  G1V 0A6

Yi Dong
Responsable de travaux pratiques et de recherche
yi.dong@gch.ulaval.ca
418 656-2131, poste 408227

Plateforme recherche fac. microscopie électronique-ana. surface
Pavillon Alexandre-Vachon, local 00712
1045, avenue de la Médecine
Québec (Québec)  G1V 0A6

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