Université Laval
Faculté des sciences
et de génie

Station de découpe et micro-usinage au laser haute précision

Laboratoire de recherche sur les microsystèmes biomédicaux, Local PLT-2115
Département génie électrique et génie informatique

Organisme subventionnaire: Fondation canadienne pour l'innovation (FCI)

Cette station de découpe au laser haute précision possède de nombreuses applications en microélectronique, dont la microsoudure, l’ajustement de composants intégrés passifs à haute précision et le micro-usinage de substrats minces. Cet appareil travaille directement sur les circuits intégrés (die ou wafer) afin de couper les interconnexions de métal, d’ajuster les résistances et de micro-usiner des substrats de verre, Kapton et polyimide.

Fournisseur: Gap Wireless and New Wave Research
Modèle: Dual Wavelength Ezlaze3 Green/UV3
Mise en service: 2014

Description

Fonctions spécifiques

  • 2 longueurs d'ondes sélectionnables (532 nm et 355 nm)
  • Attaque le cuivre, le polyimide, l'or, le Kapton, le poly silicium, l'aluminium, le nitride, l'oxyde de silicium et le SOG
  • Contrôle précis du niveau d’énergie sur une large plage
  • Contrôle de la taille et de l’orientation de la découpe selon 3 axes
  • Précision de découpe de 2 μm x 2 μm avec objectif 100X
  • 3 modes d’opération : coup unique, continu et impulsions

Domaine d'expertise

  • Micro-soudure
  • Micro-électronique
  • Micro-usinage

Valeur ajoutée

Sa grande précision et son laser à deux longueurs d’ondes adapté aux matériaux semiconducteurs en font un outil indispensable pour la microsoudure, le micro-usinage et l’ajustement de puces CMOS.

Références technologiques

Pour en savoir davantage sur cette technologie, consultez les sites suivants :

Coûts de location

À déterminer.

Disponibilité

Selon les projets en cours.

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Benoît Gosselin
Professeur adjoint
Benoit.Gosselin@gel.ulaval.ca
418 656-2131 poste 403555

Département de génie électrique et de génie informatique
Pavillon Adrien-Pouliot
1065, avenue de la Médecine
Québec (Québec)  G1V 0A6

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