EPMA - Microsonde électronique (Electron Probe Microanalyzer)

Organisme subventionnaire: Conseil de recherches en sciences naturelles et en génie du Canada

La microsonde électronique permet d’analyser qualitativement ou quantitativement les éléments chimiques d’un échantillon complexe, et ceci, dans un volume de quelques micromètres cube. Il permet l’analyse d’éléments majeurs ou mineurs que les éléments tracent jusqu’à un ordre de grandeur de 50 ppm. L’instrument permet de réaliser des profils directionnels élémentaires sur les matériaux de même que des cartes de distribution élémentaires. Cet instrument peut étudier une multitude d’échantillons solides tels que roches et minéraux, métaux et alliages, verres, fibres optiques, céramiques, matériaux semi-conducteurs, béton, ciments, etc. Cet appareil est équipé de plusieurs modules de détections soit par rayons X et optique : 

Détecteurs de rayons X :

• 5 spectromètres à dispersion de longueur d'onde ou Wavelength Dispersive Spectrometers (WDS);
• 1 spectromètre à dispersion d'énergie Energy Dispersive Spectrometry (EDS).

Détecteurs optiques :

• Microscope optique en lumière réfléchie ou transmise polarisée et analysée avec zoom optique.

Détecteurs électroniques

• Détecteur d'électrons secondaires ou Secondary Electrons (SE);Détecteur d'électrons rétrodiffusés ou BackScattered Électrons (BSE);Détecteur de cathodoluminescence.