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Microscope électronique à balayage (MEB) ou Scanning Electron Microscope (SEM) - PLT-00712

Département de géologie et de génie géologique
Laboratoire de microanalyse (LMA)
Conseil de recherches en sciences naturelles et en génie

Description de l'équipement

Cet appareillage permet de caractériser la surface et de déterminer la composition chimique d’un matériau à l’étude. Le microscope électronique à balayage (MEB) est une technique d’imagerie employée pour connaître la morphologie (forme, dimension, arrangement de particules, etc.), la topologie de surface (relief, texture, etc.), la composition chimique (ratios relatifs d’éléments chimiques) et fournir de précieuses informations cristallographiques (structure atomique). Cette technique permet d’analyser d'une multitude d’échantillons de toutes formes, compositions et tailles. Néanmoins, les échantillons étudiés doivent être stables sous vide. Pour les matériaux non conducteurs cette méthode caractérisation est destructive, car ils doivent être recouverts d’une mince couche conductrice de carbone ou d’un alliage de palladium au besoin. Dans certains cas, l’échantillon doit être séché.

JEOL JSM-840A
1991

Fonctions spécifiques

  • Méthode non destructuve : matériaux conducteurs
  • Analyse quantitative
  • Grossissement allant jusqu'à 200 000X
  • Résolution maximale : 12 nm
  • Variation du voltage d’accélération : 200 à 40 000 V
  • Variation du courant de faisceau: 1 x 10-8 à 1 x 10-12 Amps
  • Tension d'accélération : 5 à 30 kV
  • Détecteurs : électrons secondaires ou «Secondary Electron (SE)», électrons rétrodiffusés ou «BackScattered Electron (BSE)» et spectromètre à dispersion d'énergie des rayons-X ou «Energy Dispersive Spectrometer #EDS#» de type PGT Avalon
  • Composition chimique : allant du carbone (C) à l'uranium (U)
  • Dimension maximale de l’échantillon: 100 mm
  • Distance de travail: minimale : 8 mm et maximale : 40 mm
  • Rotation de l’échantillon: 360°
  • Inclinaison de l'échantillon: 0-90°; dépendant de la taille de l’échantillon
  • Système d'acquisition numérique d'images digitalisées : Orion

Champs d'expertise

  • Science des matériaux
  • Science des surfaces

Valeur ajoutée

Bien que l’instrument que nous opérons date déjà de quelques années, nous conservons un contrat d’entretien complet par le manufacturier. Ainsi, chaque année, la colonne de l’instrument est démontée et nettoyée de manière à lui conserver sa résolution et son opérabilité optimale. De plus, au fil du temps nous y avons greffé un système digital d’acquisition d’images de même qu’un système d’analyse chimique des rayons-X par énergie dispersive.

Références sur cette technologie

Pour en savoir davantage sur cette technologie, veuillez consulter le site de Jeol.

Réserver cet équipement

Pour effectuer une réservation ou pour toute information concernant cet équipement, contactez :

Marc Choquette, Ph.D.
Responsable du laboratoire
marc.choquette@ggl.ulaval.ca
418 656-5083

Département de géologie et génie géologique
Pavillon Adrien-Pouliot
1065, avenue de la Médecine, local 00712
Québec (Québec)  G1V 0A6

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Courriel : lelab@fsg.ulaval.ca
Téléphone : 418 656-2131 poste 402788